本项目基于碳化硅基片优秀的物化特性和高端应用，开展关于碳化硅材料的磨粒精密加工研究。内容1：研究化学抛光液的配方优化及化学作用机制；内容2：研究磨料加工过程中的碳化硅去除机理；内容3：研究磨料加工碳化硅材料的最优组合工艺；内容4：研究超声系统对碳化硅磨料加工的运作机制。目前已经完成了该项目的部分基础研究工作，处在产业化初期阶段。

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